■大幅度減低了振動(dòng)的TG-ML系列
?半導(dǎo)體制造工藝已經(jīng)步入到 進(jìn)一步的「微小化」，「高度集成化」。并且，在分析，測(cè)量，檢查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。對(duì)于實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工以及微細(xì)領(lǐng)域的一些測(cè)量分析來說，即便提升了設(shè)備的控制技術(shù)，振動(dòng)會(huì)直接影響產(chǎn)品的檢測(cè)工藝。因此，真空泵作為設(shè)備的元件，減振成為重要的課題。
■TG-ML系列的振動(dòng)特性
?*把真空泵泵體的振動(dòng)值*的控制在1nm以內(nèi)！  ※本公司的測(cè)定方法
?如果安裝減振器，還可以再把振動(dòng)值降低一個(gè)數(shù)量級(jí)！